干式螺桿真空泵中呈現顆粒物的情況以及措施

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，干式螺桿真空泵種類很多，按照工作原理可分為兩類：容積式干式螺桿真空泵和動量傳送式干式螺桿真空泵。這兩類的干式螺桿真空泵的特性有哪些呢?普通干式螺桿真空泵的特性具有清潔方便，安全適用，耐磨性能強，造價低，維修方便，性能穩定，振動小，噪音低等特性，干式螺桿真空泵有著愈加有意義的價值和更普遍的運用。干式螺桿真空泵在清潔方面，用油潤滑的干式螺桿真空泵都會有一個潛在的油蒸氣的污染源存在，必須采取一定措施加以處置此類問題。

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，在半導體產業主要應用對象的干式螺桿真空泵，會在許多抽氣工藝過程中呈現一些顆粒物，普通說來，在干式螺桿真空泵中呈現顆粒物有三種情況即在干式螺桿真空泵內產生反響氣體的生成物，抽氣過程混入的顆粒物，當干式螺桿真空泵內壓力增高時惹起氣固變相過程的發作。

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，防止顆粒物在干式螺桿真空泵中構成的措施從三方面考慮，一方面恰當進步泵溫；物質的升華，凝結是壓力和溫度的函數，且函數聯絡隨物質的不同而不同，所以調整泵的溫度可避免氣固變相進程的發作；一方面降落參與化學反響氣體的濃度。單位時間內氣體反響生成物(顆粒)的數量可用反響率來標明，而反響率和反響氣體濃度成指數聯絡，所以在消費工藝中充入惰性氣體，減少反響氣體濃度是降落生成顆粒物的更有效的辦法，通常這類泵緊縮氣體之前就通入惰性氣體，避免固體顆粒物的發作；一方面增加抽氣通道中的氣流速度，為避免處于懸浮狀態的固體顆粒物堆積，使氣體的活動速度大于顆粒物堆積的臨界速度，在干式螺桿真空泵內及早充入適量的氣體，使氣流速率大于顆粒堆積臨界速度，保證顆粒物完成氣動運送，但是充入氣量不能過大，過大的氣量將影響泵的極限壓力，在不同的抽氣體系中，經過實驗斷定更佳充入氣量。

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