普通水環真空泵的價格從幾千到幾萬不等，而干式螺桿真空泵的價格略高幾萬或幾萬，因此最初后者的投資要高得多。但制藥企業化學品和其他與回收、污染和其他問題有關的應用程序，后期使用的成本遠高于初始投入。

10-6Pa或更高對于超高真空應用，真空泵的使用類似于高真空裝置，但對真空室、管道、閥門和其他材料如排氣比率、泄漏率等有更嚴格的要求，同時對熱吸收也有很高的要求。

超高真空機組對大多數人來說并不常見，主要用于核工業、太空環境模擬、表面物理、質子加速器等。

對于使用數據:每天運行5小時，如果水環抽真空，工作液混合溶劑將直接釋放；每小時用水量約1.5噸，廢水處理費30元/噸；采用干式螺桿真空泵，每小時可回收丙酮67L，純度為92.5%，純度回收率約為90%。

蒸餾成本為1.5元/千克（密度為0.785千克/升，丙酮的工業價格約為8.5元/千克）。

丙酮溶劑回收，扣除精制成本，每天節約成本:67L/h×5h×92.5%×90%×0.785kg/L×（8.5-1，5）= 1532元/天。

水成本和不同廢水處理水平之間的主要差異是，制藥成本為4.5元/噸，廢水處理成本為30元/噸，每天的水處理成本約為:1.5×5×（4.5+30）= 258，75元/天

因此，制藥公司溶劑回收的好處是，在生產線運行時，每天大約1500元，每年可以節省數十萬不同的成本。此外，干式螺桿真空泵的水冷卻量非常少；隨著時間的推移推出，水成本的節省和每年的廢水處理也包含數以萬計。

這可以簡單地進行評估，如果對于一些具有回收價值的氣體，使用干軸真空泵的溶劑，即使投資成本很大，后一種好處也可能很快消除差距；對于水和廢水處理，

在一些用水量大、運行時間長、廢水處理困難的行業，干式螺桿真空泵在使用成本上也有優勢，同時增加了社會效益。